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다공질 세라믹 흡착 스테이지
aeroFIX, 에어로픽스
기공사이즈 | 0.8㎛ | 2㎛ | 5㎛ | 15㎛ | 50㎛ | 100㎛ |
---|---|---|---|---|---|---|
색상 | 흑색 | 흑색,백색 | 회색 | 회색 | 회색, 황토색 | 회색 |
기공율 | 40% | 40% | 40% | 40% | 40% | 40% | 표면저항 | 10^6~9 | 10^6~9 | 10^10 | 10^10 | x | x |
원장 사이즈 |
ㅁ500 | ㅁ500 | ㅁ500 | ㅁ500 | Ø462 | Ø305 |
주요 적용분야 |
필름, 글래스,웨이퍼, FPCB 등 검사, 플로팅 설비외 다수 적용 | 잉크젯, 코터 흡착스테이지 | 비접촉 흡착척,잉크젯 설비척 스테이지, 점프척 | 실리콘 잉곳 가공, 2차전지 ROLL TO ROLL 반송, 에어베어링, MLCC흡착 스테이지 |
고객대응은 “고객과의 긴밀한 Partnership” 입니다.
제작 절차, 제작문의에서 납품까지 생산현장의 요망 및 과제는 시대의 흐름이나 경영환경,
전략등에 의하여
변화되어 가고 있으며, "현장의 숙제"로서 끝나지 않습니다.
당사는 끊임없이 변화하는 고객의 요구, 필요욕구에 부응하고자 지속적인 신기술의 연구개발에
매진하고 있습니다. 진공흡착판의 결정판 < 에어로픽스 >는 최단납기, 저 코스트로 대응하고 있습니다.
나노템코리아 독자의 소재, 소결기술로 실현한 5-Advantage
각종 워크사이즈 대응
01
부분흡착이 가능하여 졌습니다.
각종 워크 사이즈에 대응이 가능하여 1대로 OK
지금까지는 워크의 형상에 맞추어 흡착장치의 설계 및 제조가 필요하였습니다만 부분 흡착이 가능한 “aeroFIX”는 각종 워크사이즈에 대응, 워크별로 형식이나 사이즈를 바꿀 필요가 없어 코스트 절감 및 작업효율 향상 효과가 있습니다.
균일흡착 가능
02
고성능 고정도의 균일 흡착
박막필름등 흡착에 민감한 박막워크에 최적
알류미늄이나 스텐레스의 흡착면에 홈이나 홀을 설계, 제조하여 워크를 고정하는 기존 진공흡착판에서는 워크가 표면 홈이나 홀에 빨려들어 변형, 틀어짐 현상이 발생되었습니다.
그러나 마이크론 단위 제작의 초미세한 가공과 독자적인 진공배기 방식을 가진 “aeroFIX”는 균일한 흡착렬을 발생시켜 민감한 박막워크에도 안심하고 사용이 가능하며,
필름등의 끝단, 말림부분도 흡착하여 작업효율을 높혀 줍니다.
흡착력은 진공조압변에 의하여 조정도 가능합니다.
비접촉 부상 반송 응용가능
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비접촉 부상 반송에 응용
워크의 오염, 스크렛치 위험을 절감
“aeroFIX”가 자랑하는 특징의 하나로 비접촉부상반송에 응용을 들 수 있습니다.
이것은 정압과 부압 각각의 에어 공급과 진공흡착을 컨트롤 하는 것으로 워크 자세를 안정시키는 고도의 기술이 가능하게 된 것입니다.
워크는 부상 유닛에서 띄워지면서 경미한 힘으로 흡착판위를 자유자재로 움직이는 것이 가능합니다.
초박막기판등의 워크의 오염방지 과제를 해결할 수 있습니다.
비용절감
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간편&코스트 절감
기존장치에 올려만 놓아도 “aeroFIX”
[Top plate] 제품을 현재 사용하고 있는 진공흡착판 위에 올려만 놓아도 “aeroFIX”의 성능, 기능을 발휘합니다.
별도의 체결, 작업이 필요없습니다.
(워크박리에 에어 정압을 사용하는 경우에는 상담하여 주시길 바랍니다.)
다양한 형상 대응
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대형사이즈 & 고 의장성
대형사이즈, 복잡한 형상에도 대응
흡착부의 사이즈는 최대 ㅁ1000mm, Ø1000mm까지 되어있습니다만 그 이상의 크기의 “aeroFIX”에 대하여도 상담이 가능합니다.
또한 형상에 관하여도 고객의 요망에 맞추어 주문제작이 가능하오니 언제든지 문의 부탁드립니다.
* 기존 타입과 비교
구분 | aeroFIX | 기존 Through-hole type |
---|---|---|
박막물에의 대응 | ◎ | X |
부분 흡착 | ◎ | X |
흡착 강도 | ◎ | △ |
다양한 사이즈 대응 | ◎ | ◎ |
습식환경 대응 | ◎ | ◎ |
고온환경 대응 | ◎ | X |
코스트 | ◎ | △ |
다공질 세라믹 흡착 스테이지 제품소개
01. 세라믹 태반타입(ㅁ300)
02. 액연타입(690X570X50t)
03. 세라믹 태반타입(Ø100)
04. 액연분할타입
05. BUSH예
06. 흡착회전원형테이블 9B size(Ø640)
07. 스텐레스 태반타입(Ø2"용)
08. ALL 다공질타입(Ø12"용)