Wafer Chuck
웨이퍼 척
그라인딩, 쏘잉, 검사, 세정 장비 등 다양한 공정에서 대응 가능합니다.
당사 노하우로 고객사 사용 목적에 따른 세라믹 및 베이스 재질 등
상세 사양을 안내해드릴 수 있습니다.
· 웨이퍼 흡착하여 다양한 공정 대응
· 그라인딩 / 쏘잉 / 검사 / 세정 장비 등 응용
· 다양한 모델 및 요구에 따라 설계 및 제조 가능
01
자재 데미지 예방
기존의 알미늄 홀타입과는 달리 미세한 기공으로
이루어진 다공질 세라믹으로 흡착하여
홀 자국으로 인한 자재 데미지를
예방할수 있습니다.
02
고정밀 대응가능
당사의 독자적인 연마기술로
제품의 우수한 평탄도를 달성할 수 있습니다.
(요구 평탄에 대한 협의 가능)
03
내 파티클성 우수
대기공 세라믹을 사용하여 자재 가공중 발생하는 미세한 파티클을 그대로 흡착하여 배출 가능한 제품입니다.