나노템 코리아

Air Floating

에어부상 유닛

대형 글래스 기판을 안정된 부상량으로 부상 높이를 제어가능 부상 반송이 가능하며 글래스의
처짐을 경감시켜 tack time 감소, 성능 향상

정밀 부상 워크부

단순 부상 워크부

*상기 내용은 데모기의 사양이며 구체적인 사양, 사이즈 등은 상담하여 주십시오.
어떠한 사양, 사이즈, 형태에도 대응이 가능합니다.

다공질 세라믹을 이용한 비접촉 에어부상 유닛의 장점

01

에어의 흡착, 공급의 공압제어, Setting이 용이

기존의 에어부상 유닛의 단점인 공압 제어, 조정의 어려움, Set up후 사후 관리의 어려움을 해결하여 간단히 설치가 가능하며 사후 관리가 용이합니다.
02

Glass에 얼룩, 스크랫치 발생이 없음

기존 카본계열 에어부상 유닛의 단점인 얼룩 문제를 해결하였습니다. 카본은 열전도율이 높아 공급 에어 온도에 의하여 영향을 받아 온도차에 의한 얼룩 발생 문제등이 있었으나 다공질 세라믹을 이용한 에어부상 유닛은 세라믹의 열전도율이 낮아 얼룩 발생 문제 해결이 가능합니다.
03

정전기 발생 억제

정전기 발생 문제는 전도성이 나빠도 혹은 너무 좋아도 문제가 발생되어 집니다. 정전기 발생억제에 가장 효과적인 표면저항은 10⁶~10⁹이라는 연구결과 있으며 다공질 세라믹의 표면저항은 10⁸(*)으로 정전기 발생 엑제에 효과적입니다. (*) 다공질 세라믹 aeroFIX의 당사 측정 결과(측정 환경: 온도26℃/습도50%)
04

이물 발생, 오염이 없음

카본이 완전소결이 어려워 사용 중 분진 발생, 또는 표면에 검은 가루가 묻어나오는 문제가 있으나 다공질 세라믹은 완전소결로 인한 자체 분진 발생이 없으며 이물발생, 오염이 거의 없습니다.