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Technology

소재에서 시스템까지, 정밀 산업의 미래를 선도하다
Technolgoy

기공별 물성

다공질 세라믹 스테이지 “aeroFIX”
기공사이즈2㎛5㎛15㎛50㎛100㎛
색상흑색, 백색회색회색회색회색
기공율40%35%35%35%35%
표면저항
(Trek 152 5파운드
프로브 측정치)		106 ~ 109Ω/Sq
주요 적용분야필름, 글래스, 웨이퍼,
유리기판, FPCB 등 검사,
플로팅 설비 외 다수 적용		잉크젯,
코터 흡착스테이지		비접촉 흡착척,
잉크젯 설비척 스테이지,
점프척		웨이퍼 다이싱, 웨이퍼 백그라인딩,
웨이퍼 엣지그라인딩, 에어베어링,
MLCC흡착 스테이지

기공별 물성 – 2미크론

시료명분석항목단위분석방법분석결과
NTKR _ 2μm평균 기공 지름μmMerycury
Porosimetry		2.31
Bulk Density
(at 1.81 psia)		g/mL2.46
기공률%42.0

기공별 물성 – 15미크론

시료명분석항목단위분석방법분석결과
NTKR _ 15μm평균 기공 지름μmMerycury
Porosimetry		15.7
Bulk Density
(at 1.81 psia)		g/mL1.92
기공률%36.4

기공별 물성 – 50미크론

시료명분석항목단위분석방법분석결과
NTKR _ 50μm평균 기공 지름μmMerycury
Porosimetry		52.3
Bulk Density
(at 1.81 psia)		g/mL1.54
기공률%33.5

기공별 물성 – 100미크론

시료명분석항목단위분석방법분석결과
NTKR _ 100μm평균 기공 지름μmMerycury
Porosimetry		102.3
Bulk Density
(at 1.81 psia)		g/mL2.06
기공률%33.5