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소재에서 시스템까지, 정밀 산업의 미래를 선도하다
다공질 세라믹

에어부상 유닛

에어부상 유닛

다공질 세라믹의 균일한 미세 기공을 통해 에어를 균일하게 분출하여 대형 글래스 기판 및 웨이퍼등 첨단 소재를 안정적인 높이로 비접촉 부상시키며, 처짐이나 떨림 현상을 획기적으로
방지합니다. 양압(부상)과 음압(흡착)을 개별 제어하는 독자적인 기술로 워크의 평탄도를 정밀하게 유지하며, FPD, OLED, 태양광 패널 등 고부가가치 소재를 스크래치 없이 고속 반송이
가능합니다.

정밀 부상 워크부

다공질 세라믹의 미세 기공을 통해 양압(부상)과 음압(흡착)을 동시에 정밀 제어하여,
워크의 일정한 높이를 유지합니다. 고해상도 비전 검사, 노광 공정, 초정밀 레이저 가공 등
초점 거리 유지가 필수적인 구간에 적용되어 극한의 평탄도를 보장합니다.

단순 부상 워크부

균일한 에어 분출을 통해 워크를 부상시켜 물리적 마찰을 제거함으로써, 이송 중 발생하는
스크래치와 오염을 근본적으로 차단합니다. 대형 OLED 글래스 반송, 필름 롤 이송,
물류 컨베이어 구간에 적용되어 워크의 손상 없이 빠르고 안정적인 고속 반송을 실현합니다.

* 상기 내용은 데모기의 사양이며 구체적인 사양, 사이즈 등은 상담하여 주십시오.
   어떠한 사양, 사이즈, 형태에도 대응이 가능합니다.